CVD Diamante

ENGENHARIA DE SUPERFÍCIES E
DESGASTE
Filmes de Diamante
(Processo CVD – Chemical Vapor
Deposition)
JHONNY DIAS
VÍTOR TOTOLA
FEVEREIRO/2015

Formas Alotrópicas do Carbono
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Alotropia: um mesmo elemento químico é capaz de formar várias substâncias simples com características e propriedades diferentes;

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São conhecidas quatro formas alotrópicas do carbono, além da amorfa: grafite, diamante, fulerenos e nanotubos;

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A forma amorfa é a forma presente na maioria dos carvões e na fuligem.

Diamante

• substância mais dura da natureza: risca qualquer outra substância;
• dureza do diamante resulta da sua estrutura cristalina onde cada C está ligado covalentemente a quatro outros, situados nos vértices de um tetraedro: ligações sp3;
• quimicamente inerte, ótimo isolante elétrico;
• pode ser transformado em semicondutor;

Célula Unitária
(Diamante)

• pequeno coeficiente de atrito e alta condutividade térmica;
• baixa tenacidade: sob pressão ou impacto, se quebra com facilidade; Transformação de material carbonáceo em diamante Diagrama de Equilibrio do Carbono
•Em alta pressão (6 GPa  60000 atm) e alta temperatura (1600 0C): usando grafite e um catalizador metálico, produção de cristais de diamante de tamanho de alguns micrômetros.
• Em baixa pressão e alta temperatura: técnica de CVD
(Chemical Vapor Deposition), usando uma mistura de gases (H2, O2, CH4), deposita-se um filme de diamante policristalino sobre um substrato .

O que é CVD?
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Chemical vapor deposition (CVD) é um processo químico utilizado para a produção de materiais sólidos de alta pureza e de alto desempenho.

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O processo é frequentemente utilizado na indústria de semicondutores para produzir filmes finos.

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Num processo típico de CVD, a pastilha (substrato) é exposta a um ou mais precursores de voláteis, que reagem e/ou decompõem-se na superfície do substrato para produzir o depósito pretendido.

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Muito importante no revestimento de ferramentas de corte para aumentar sua vida útil.

Em que