sensor de umidade

SENSOR DE UMIDADE CAPACITIVO DE ALTA SENSIBILIDADE COM TECNOLOGIA MENS
Cleber e Melo Elidio, Carlos Nóbrega, Onofre Felix de Lima Neto, Antonio Carlos da Cunha Migliano.
Universidade Braz Cubas, Mogi das Cruzes, SP.

Palavras-chave: Sensor de umidade capacitivo, Poliamida e Mens.

Introdução: Sensores de umidade relativa do ar estão sendo cada vez mais utilizados em sistemas de controle. Estes sensores são facilmente encontrados em estufas, automóveis, refrigeradores, equipamentos médicos, eletrodomésticos, instrumentos de precisão e outros. Mais recentemente, com o crescimento do mercado agrícola no Brasil, a demanda por sensores de umidade vem crescendo substancialmente. Algumas das qualidades mais desejáveis dos sensores de umidade são: resposta rápida, boa reprodutibilidade, pequena histerese, boa estabilidade térmica, resistência contra contaminantes, pequena área e finalmente baixo custo. Objetivos: O objetivo principal deste trabalho consiste em Ilustrar a estrutura de fabricação do sensor de umidade capacitivo de alta sensibilidade e estudar seu princípio de funcionamento. O sensor em foco e constituído basicamente por eletrodo superior, poliamida (dielétrico) e eletrodo inferior, projetados em um wafer de silicone com uma cavidade na estrutura. Além disso, a estrutura com cavidade previne efeitos indesejados provocados por danos na Poliamida, camada de detecção e na estrutura do sensor. O processo de fabricação é reprodutível, confiável e de baixo custo, utilizando a tecnologia MENS. Métodos: A utilização de capacitores como sensores para o domínio químico e baseado no efeito da variação da constante dielétrica de filmes finos ou do substrato. As características desses sensores são determinadas principalmente pela característica do material dielétrico e pela geometria (morfologia) do eletrodo. A equação geral da capacitância e dada por: C= εA/d. Sendo que A é a área das placas e d a distancia entre elas. A permissividade relativa ou constante