microscopia eletronica de varredura
Emissão eletrônica mais uma coluna óptica formam um feixe de elétrons.
Os elétrons interagem com a amostra de forma complexa e geram diferentes tipos de sinais.
A imagem construída ponto por ponto.
Formando um feixe de elétrons.
A figura representa um esquema do sistema óptico. A sua utilização é para produzir um feixe de elétrons extremamente focalizado, o qual fará uma varredura em toda a superfície da amostra analisada.
FONTE EMISSORA DE ELÉTRONS: Está na montagem do canhão e cria o feixe de elétrons enérgicos que serão manipulados pelos elementos ópticos
- O canhão (o cátodo) emite um feixe de elétrons energéticos, neste caso é um curto filamento de tungstênio em uma forma de "V".
TUBO LINHAR: Fornece um caminho limpo para o feixe de elétrons, e apóia alguns outros dos elementos ópticos
LENTES CONDENSADORAS: Demagnifica o feixe e regula a sua intensidade
- Controla o diâmetro transversal do feixe (spot size) e a intensidade de corrente do feixe.
LENTE OBJETIVA: Focaliza o feixe sobre a amostra.
- Também conhecido como Foco Final, esta lente tem a tarefa de levar o feixe extremadamente focalizado sobre a amostra
BOBINA DE VARREDURA: Desvia o feixe em um varrido por rastreamento (rastering) sobre a amostra.
- É um conjunto de bobinas magnéticas localizadas no interior da lente objetiva. Ao passar corrente através destas bobinas, campos magnéticos são criados, e desvia o feixe de diferentes pontos da amostra.
CORRETOR DE ASTIGMATISMO: Corrige astigmatismo por defeitos no sistema óptico
ABERTURA: define a parte do feixe de elétrons que irão chegar à amostra.
- Este é o componente mais crítico do sistema óptico. É um pequeno disco com um buraco cuidadosamente perfurado no centro.
Resposta e Sinais:
As três respostas mais comumente utilizadas são os sinais:
BSE - Sensível ao número atômico.
SE -