Interrogação óptica

Interrogação Óptica de Acelerômetros Micro-Eletro-Mecânicos

1 Gabriel Cenato1, Vilson R. Almeida1,2

2 1 DCTA - Instituto Tecnológico de Aeronáutica – Pça. Mal. Eduardo Gomes, 50. 12180-900 – S. José dos Campos – SP – Brasil

3 2 DCTA - Instituto de Estudos Avançados – Rodovia dos Tamoios s/n. 12180-900 S. José dos Campos – SP – Brasil

Resumo ⎯ Acelerômetros são dispositivos capazes de medir acelerações em um corpo, independentemente de qualquer informação externa. A tecnologia MEMS (Sistemas Micro-Eletro-Mecânicos) tem sido utilizada para a fabricação de acelerômetros com dimensões reduzidas, capazes de efetuar medidas de alta precisão. O trabalho proposto fará uso de interrogação óptica em acelerômetros MEMS, a fim de alcançar um método de medição confiável, imune à interferências eletromagnéticas, bem como realizar uma análise estrutural do dispositivo.

Palavras-Chave ⎯ MEMS, acelerômetros, interrogação óptica.

I. INTRODUÇÃO

Acelerômetros são dispositivos capazes de medir acelerações e vibrações sofridas por um determinado corpo em até três dimensões; sua alta sensibilidade às acelerações é extremamente útil a inúmeras aplicações. São componentes extremamente desejáveis às aplicações aeroespaciais. O setor aeroespacial brasileiro demanda independência tecnológica nessa área, que vem sendo perseguida por diversos projetos realizados no âmbito do DCTA/IEAv [1]-[2], incluindo acelerômetros da vertente tecnológica de Sistemas Micro-Eletro-Mecânicos (MEMS). No Projeto AcelerAD, financiado pela FINEP, um grupo de pesquisadores do DCTA/IEAv e de outras instituições civis e militares vêm trabalhando no desenvolvimento e fabricação de acelerômetros MEMS, a fim de dominar a tecnologia envolvida e capacitar o Brasil na produção deste importante aparato tecnológico [1]. A Fig. 1 mostra a representação esquemática da região sensora do acelerômetro MEMS desenvolvido no Projeto AcelerAD.

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Fig. 1. Representação