Curso mev

Apresentação

Centro de Microscopia Eletrônica PPGEM
Microscopia Eletrônica de Varredura & Microanálise Luis Frederico Dick

CME-UFRGS

Programa da Aula Teórica 1. 2. Introdução: Características de Análise do MEV; Características Gerais MEV x MO Princípios de funcionamento do MEV: Emissões de uma amostra bombardeada por elétrons; Geração de Imagem; Modos de operação /detetores: SEI, BEI, AEI, EBSP, EDS, WDS, Channeling, EBIC; Definições: Tensão de aceleracão (AccV), Distância de trabalho (WD),Distância Focal, Profundidade de Foco, Corrente e diâmetro do feixe (probe current, spotsize), Astigmatismo, Brilho, Contraste, Ângulo de inclinação (tilt), Resolução, Magnificação.

3. 4.

Componentes do MEV: Desenho de um MEV (Jeol 5800, LEO 440); Componentes: lentes eletromagnéticas e sistema de vácuo, canhão; Características do Jeol 5800

Parâmetros de Imagens 4.1 Imagens por elétrons secundários (SEI, secondary electron imaging).
Geração da imagem; Detetor cintilador-fotomultiplicador Everhart-Thornley; Características e contraste.

4.2 Imagens por elétrons retro-espalhdos (BEI, backscattering electron imaging).
Geração da imagem, Detetor (detetor anular de estado sólido, tempo de resposta lento-TV-rate, compo, topo, shadow), características e contrastes (Z-contraste, sombra, tilt).

4.3 Imagens por elétrons absorvidos (AEI)
Geração da imagem, Detetor; Características/con trastes

5. Influência de diferentes parâmetros nas características da imagem
Voltagem de aceleração; Diâmetro do feixe ; Efeito de bordas; Tilt (SEI, BEI, pares estéreos); Velocidade de varredura; Orientação da amostra com o detetor SEI; carregamento estático/metalização/ hipermetalização; WD, diâmetro da abertura; Astigmatismo; Brilho e contraste; Campo magnético (distorção), carregamento (estrias), vibração, dano, contaminação

6. Microanálise: EDS,WDS,EBSD
Geração de raios-X, Pricípios defuncionamento do EDS e do WDS. Cristalografia, Difracão paralela e convergente, EBSD.