Apostila Aspectos basicos sobre plasmas DC

Instituto Federal de Santa Catarina – IF-SC
Universidade Federal de Santa Catarina - UFSC

Aspectos básicos sobre plasmas DC fracamente ionizados

Apostila compilada por Henrique Cezar Pavanati
Revisão Técnica: Rodrigo Perito Cardoso

Florianópolis, agosto de 2009

SUMÁRIO

1 Introdução ................................................................................................................. 1
2 Fundamentos de plasma DC pouco ionizados......................................................... 2
2.1 Introdução

2

2.2 Plasmas quentes e plasmas frios

3

2.3 Descargas elétricas

4

2.4 Colisões no plasma

5

2.5 Descarga DC

8

2.6 Reações no plasma

13

2.7 Interação plasma-superfície

16

3 Tratamentos e processamento de materiais em Plasma DC................................. 32
3.1 Limpeza de superfícies e remoção de ligantes orgânicos

32

3.2 Endurecimento superficial utilizando descarga DC

34

3.3 Sinterização em descarga luminescente anormal

37

3.4 Enriquecimento superficial por plasma DC

39

4 Bibliografia Consultada........................................................................................... 42

Aspectos básicos sobre plasma DC fracamente ionizados

1

1 Introdução

Esta apostila tem como público-alvo, estudantes de engenharia que iniciam seu contato com processamentos e tratamentos que envolvam plasma DC em baixa pressão. Neste documento é feita uma compilação de conceitos básicos sobre descarga DC e seu potencial para aplicações em processamentos e tratamentos por plasma. O objetivo principal desta apostila é trazer ao leitor uma fundamentação mínima para introduzir o estudante no universo de descargas DC. Cabe ressaltar que toda síntese traz consigo muitas simplificações, algumas perigosamente exageradas e sem grande rigor físico. Estas simplificações são válidas para tornar o assunto o mais didático possível, fornecendo ao leitor uma base para se concentrar nos aspectos macro do processo como um todo e para quando