Projeto de sensor piezoresistivo utilizando uma Fonte de Referência do tipo Bandgap

UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
FACULDADE DE ENGENHARIA ELÉTRICA E DE COMPUTAÇÃO
DEPARTAMENTO DE SEMICONDUTORES, INSTRUMENTOS E FOTÔNICA

SENSOR DE PRESSÃO MICROELETROMECÂNICO COM FONTE
DE REFERÊNCIA EM TENSÃO

Nome: Alessandro Camolesi

Dissertação de Mestrado do Curso de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica orientada pelo Prof. Dr.
Fabiano Fruett, aprovada em 06 de agosto de 2010.
Área de concentração: Eletrônica, Microeletrônica e
Optoeletrônica.

Banca Examinadora constituída pelos:
Prof. Dr. Fabiano Fruett – FEEC/UNICAMP
Prof. Dra. Ana Neilde R. da Silva – DSE/USP
Prof. Dr. José Alexandre Diniz – FEEC/UNICAMP

Campinas – SP Brasil
2010

FICHA CATALOGRÁFICA ELABORADA PELA
BIBLIOTECA DA ÁREA DE ENGENHARIA E ARQUITETURA - BAE UNICAMP

C149s

Camolesi, Alessandro
Sensor de pressão microeletromecânico com fonte de referência em tensão / Alessandro Camolesi. -Campinas, SP: [s.n.], 2010.
Orientador: Fabiano Fruett.
Dissertação de Mestrado - Universidade Estadual de
Campinas, Faculdade de Engenharia Elétrica e de
Computação.
1. Transdutores de pressão. 2. Circuitos integrados de baixa tensão. I. Fruett, Fabiano. II. Universidade
Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação. III. Título.

Título em Inglês: Microelectronic pressure sensor with voltage reference
Palavras-chave em Inglês: Pressure transductor, Low voltage integrated circuit Área de concentração: Eletrônica, Microeletrônica e Optoeletrônica
Titulação: Mestre em Engenharia Elétrica
Banca examinadora: Fabiano Fruett, Ana Neilde Rodrigues da Silva, José
Alexandre Diniz
Data da defesa: 06/08/2010
Programa de Pós Graduação: Engenharia Elétrica

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DEDICATÓRIA
Dedico este trabalho aos meus pais

que

me

apoiaram, me incentivaram e me auxiliaram ao longo desses anos.
A minha querida esposa
Luísa pelo carinho, apoio, compreensão momentos

nos difíceis e

principalmente sempre por colocar os