Microscopia eletronica de varredura

UNIVERSIDADE FEDERAL DE CAMPINA GRANDE - UFCG
PÓS-GRADUAÇÃO EM ENGENHARIA CIVIL E AMBIENTAL – PPGECA

MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE
VARREDURA-MEV
ALBANIZA MARIA DA SILVA

DEFINIÇÃO:

É um instrumento que permite a observação de amostras sólidas com o aumento da ordem de centenas de milhares de vezes. Seu princípio é análogo ao do microscópio óptico tradicional, mas a luz e as lentes de vidro são aqui substituídas por um feixe de elétrons e lentes eletromagnéticas. BREVE HISTÓRICO:

 A primeira concepção do MEV foi realizada em 1935 por M. Knoll;
 Em 1938 Von Ardenne, construiu o primeiro microscópio elétronico de transmissão de varredura, adptando bobinas de varredura ao microscópio eletrônico de transmissão (aumento máximo de 8000x);
 Em 1942 foi construído o primeiro MEV no laboratório da RCA, com resolução de 1μm, substituindo as lentes eletrostática por eletromagnéticas permitiu melhorar as resoluções para 25 nm;
 Finalmente em 1965 a Cambridge Scientific Instrument, construiu a primeira versão comercial do MEV. E desde então, muitos avanços vem sendo feitos, principalmente em relação as fontes de elétrons, a parte eletrônica e computacional. PRINCIPAIS ASPECTOS:

 Alta resolução, pode operar em uma escala ampla de aumentos, desde 10x até
300.000x;
 Facilidade na preparação de amostras;
 Elevada profundidade de foco, imagem com aparência tridimensional;
 Possibilidade de combinar análise microestrutural com microanálise química .

PRINCIPIO DE FUNCIONAMENTO DO MEV:

MEV
CAMARA
DE
AMOSTRA

COLUNA

CANHÃO DE
ELÉTRONS

Feixe de elétrons LENTES
MAGNÉTICAS

Interação entre elétrons e amostra VISUALIZAÇÃO
DA AMOSTRA
NO MONITOR

PRINCIPIO DE FUNCIONAMENTO DO MEV:

Fonte de elétrons
COLUNA DO
MICROSCÓPIO
Bobinas de varredura Aberturas

MEV

Lentes Magnética e suas aberrações

ópticas
CÂMARA DE
AMOSTRAS

FONTE DE ELÉTRONS:

 Canhão de Elétrons: é um conjunto de