Microscopa

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  • Publicado : 29 de maio de 2011
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1. INTRODUÇÃO
Este trabalho trata do assunto sobre microscopia óptica como uma técnica para caracterização e inspeção de padrões em microeletrônica. Apesar desta ser uma das mais antigas técnicas, o microscópio representa uma grande ajuda na verificação de microcircuitos, já que a visão humana tem suas limitações. O Microscópio vem de duas palavras gregas e quer dizer "pequeno" e "observar". Nãose sabe exatamente quem o inventou. Dizem que o microscópio foi inventado por Zacarias Janssen, óptico holandês; é certo porém que ele deu um ao arquiduque da Áustria de presente, em 1590. Depois deste, muitos outros modelos foram aperfeiçoados para as mais variadas aplicações, que vão desde a biologia até, mais recentemente, a microeletrônica e a astronomia (em observação minuciosa de fotostiradas com telescópios potentes). O avanço da eletrônica e engenharia em si, tem permitido hoje em dia que se produzam instrumentos ópticos de grande precisão e comodidade para quem os utiliza. Vale citar como exemplo, um microscópio que faz uso de uma tela de cristal líquido colorido de alta resolução para visualização das amostras, e cujo sistema óptico fica restrito a uma espécie de caneta ópticaligada por um cabo óptico (fibra óptica) ao sistema de processamento digital da imagem. As dimensões geométricas de estruturas implementadas por processos de microeletrônica estão diretamente ligadas ao desempenho do circuito integrado. Assim, no controle da fabricação de circuitos integrados e dispositivos microeletrônicos, é necessário verificar e medir a geometria das estruturas construídas nasuperfície dos wafers. Devido à alta integração, esse controle torna-se impossível de ser feito a olho nu ou mesmo com uma lupa simples. Assim na verificação de produtos, o microscópio ajuda à visão humana a inspecionar os padrões das lâminas de semicondutores, na fabricação dos circuitos integrados e dispositivos de microeletrônica de todos os tipos, o microscópio é necessário para verificar emedir as estruturas que são produzidas na superfície das lâminas e que constituem os dispositivos. Com o aumento da integração desses circuitos necessita-se de uma maior atenção para controlar o processo. O que pode não ser óbvio é o contexto em que se inserem os microscópios ópticos nesse controle. Contudo, esta classe de instrumentos de medidas diretas tem continuamente experimentado sua própriaforma de evolução, de modo a permanecer em muitas áreas do processamento de lâminas. Pode-se citar também os testes elétricos que são de difícil realização, além da possibilidade de destruição do dispositivo. Mesmo a alocação das pontas de prova exige precisão ou em padrões de resistes em circuitos integrados; às soldas das juntas é o mais importante, também em alguns casos é o único meio paraobservação, envolvendo o olho humano, é através de um microscópio óptico. É nesse contexto que se inserem as técnicas de microscopia óptica. Muitos fabricantes de produtos eletrônicos têm produzido sistemas ópticos, parcial ou totalmente automatizados que superam a capacidade humana com auxílio de um microscópio em algumas tarefas. Entretanto, o microscópio óptico permanece. Com os recursos dasferramentas de CAD os fabricantes de microscópios são capazes de projetar sistemas de lentes que têm ampliações ou resoluções que atingem o limite do comprimento de onda da luz. Além do mais, maiores esforços têm sido feitos com relação ao aprimoramento das características de estabilidade e ergonomia(conjunto de estudo, que visam a organização metódica do trabalho em função do fim do proposto e dasrelações entre homem e máquina). Diante da importância da microscopia óptica na caracterização de microeletrônica, esse trabalho vem apresentar as técnicas e construção dos mais variados tipos de microscópios, cujo emprego em microeletrônica vai desde o controle de fabricação até mesmo à caracterização, análise de falhas e engenharia reversa.

2. Microscópio Óptico- Aspectos Gerais

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